半導(dǎo)體工業(yè)氮氧化物的廢氣處理 

　　半導(dǎo)體指的是在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與***緣體之間的材料，半導(dǎo)體在加工的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一種氮氧化物的工業(yè)廢氣，今天了解一下關(guān)于半導(dǎo)體工業(yè)氮氧化物的廢氣處理。

 

　　氮氧化物分為一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮(N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)等，氮化物遇光、濕或熱變成二氧化氮及一氧化氮，一氧化氮又變?yōu)槎趸煌瑑r(jià)位的氮化物毒性不同。

 

　　常見(jiàn)的半導(dǎo)體原材料有硅、鍺、砷化鎵等，加工廠在加工期間的主要污染物有一氧化氮 、一氧化二氮、二氧化氮、三氧化二氮、四氧化二氮和五氧化二氮、HF等。

 

　　半導(dǎo)體氮氧化物廢氣采用的燃燒控制技術(shù)、煙氣脫硝技術(shù)以及爐內(nèi)噴射吸收劑，工業(yè)廢氣處理的NOx一般采用過(guò)程后處理，脫除技術(shù)又分為干法和濕法兩***類，干法包括催化還原法、催化分解法、吸附法等，干法包括催化還原法、催化分解法、吸附法。

 

　　濕法于干法相比，采用的水處理工藝簡(jiǎn)單、吸收劑種類多、操作費(fèi)用低廉、適應(yīng)性強(qiáng)等***勢(shì)。